Brooks布魯克斯機械手

BROOKS真空機器人特點：

1、可在真空集束機臺里輸送晶圓；

2、可傳送300mm 的晶圓；

3、擁有專利BiSymmetrik的雙末端執行器；

4、可用于本地和遠程監視和診斷的高級固件；

5、符合CE和SEMI S2。